空氣彈簧減振器技術領域的關鍵技術

空氣彈簧減振器技術領域的關鍵技術

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技術領域

本產（chǎn）品歸（guī）屬於高精密減振技術領域，關鍵涉及到一種共麵（miàn）汽浮正交（jiāo）和解耦和軟性膜角解耦的磁懸零彎（wān）曲剛（gāng）度彈簧減振器。

環境技術性（xìng）

[0002]伴隨（suí）著超精密機械（xiè）加工（gōng）和（hé）測量精度的不斷提升，自然環（huán）境震動早已成為了牽製超精密機械加工專（zhuān）用設備和檢測儀器精密（mì）度和特性提升的主要要素。尤其是以步進電機掃描（miáo）儀光刻技術（shù）為象征的集成電路工藝電子（zǐ）器（qì）件生（shēng）產設備（bèi），技術性抗壓強度和複雜性極高（gāo），空（kōng）氣彈簧重要性能指標（biāo）做到了原有工（gōng）藝的極限，意味著（zhe）了超精密機械加工的較高水準機器設（shè）備。空氣彈（dàn）簧高精密減（jiǎn）振已變成此類機器設備的關鍵核心技術；步進電機掃描儀光（guāng）刻技術線距已做到22nm及下列，圓晶精度等級和疊合精密度做到數納米技術，產品（pǐn）工件台健身運動速率做到lm/s以上，產品工件台瞬時速度做到重（chóng）力加速度的幾十倍，對原有（yǒu）的空氣（qì）彈簧震（zhèn）動（dòng）明確提（tí）出了（le）新的挑戰隔離（lí）技術。最先，光刻技術必須為（wéi）計量檢定（dìng）係統軟件（jiàn）和光（guāng）刻技術測微目鏡給予（yǔ）“超靜音模式”的辦公環境，與此同時還必須推動產品（pǐn）工（gōng）件操作台快（kuài）速、高瞬時速度挪動，這對空氣彈簧減振係統軟件的減振（zhèn）特性明確（què）提出了極為嚴苛的規定。三個方位的共振頻（pín）率都必須在1Hz下列；次之，光刻技術各組件間的相對位置，如光刻技術測微目鏡（jìng）與單（dān）晶矽片表層的間距，都是有（yǒu）十分（fèn）嚴謹的規定，處在關閉的部（bù）位環中。在意見反饋自動控（kòng）製係統的（de）操縱下，規定（dìng）彈簧減振器左右安裝板（bǎn）中間的相對位置精密度做到10μm數量級，而傳統化的彈簧減（jiǎn）振器精度（dù）等級遠遠地不可以符合要求。