SSX600係列步進掃描投影光刻機氣動隔振係統性

SSX600係列步進掃描投影（yǐng）光刻機（jī）氣動隔振係統性

SSX600係列步進掃描投影光刻機氣（qì）動隔振係統塑膠試片工藝（yì）性能試驗(1)拉伸實驗氣（qì）動隔振係（xì）統的抗拉強度的時效性轉變那（nà）樣,步進掃描投影光刻機（jī）氣動隔振係（xì）統氣囊的抗拉強度伴隨著使用壽（shòu）命問的問題的增加大概說明降低的趨勢,應用16年（nián）以後也發現了，一（yī）些（xiē）試樣的抗拉（lā）強度下降50百分比上下。那樣（yàng）,抗拉強度減少50百分比之上（shàng）則可（kě）認定是顯著的（de）降低。在氣襄工藝（yì）性（xìng）能（néng）方麵，針對超過本試驗階段的應用，要進行慎重考慮。

詳細的分析（xī）每（měi）個老化（huà）趨向時，確定了（le）以下老化特點先,在（zài）中間，①麵、②麵垂直及水平方向（xiàng）強度都有降低,①麵（miàn）降低水準略大些。步進掃描投（tóu）影（yǐng）光刻（kè）機氣動隔振係統主要原因可以稱（chēng）作橫著搖晃產生的影響，與此同時也可以稱之為紫外（wài）線的危害。進而結（jié）論得知，氣囊中間是很容易（yì）變形消化（huà）振動的主要一部分。

其次,相關上（shàng）端,其水不角度的抗拉強度（dù）使（shǐ）用（yòng）4年裏，雖（suī）然也（yě）有一-定初期老化,但應用13年~16年以後，①麵、②麵抗拉強度降低量均比較（jiào）小。與其相符合，相（xiàng）關.上端（duān）垂直方向,其①麵、②麵抗拉強度的下（xià）降量（liàng）與中間一樣,變形比較大。進而（ér）結（jié）論得知，上（shàng）端在（zài）設備運轉中,①麵、②麵二者都為垂直方向（xiàng）的震動影響很大,而水平方向的震動危害則比較小。相關下邊,①麵抗拉（lā）強度的下降,在垂直和水平方向（xiàng）均（jun1）比較大，而②麵無論哪個地方均（jun1）比較（jiào）小（xiǎo）。那可確定（dìng）根（gēn）本原因是下邊橫（héng）著搖晃所（suǒ）導致的疲倦要素大因此，步進掃描投影光刻機氣動隔振係統氣囊下邊常采用將零配件迅速地固定在牽引電機上。由此可以確定,氣囊下（xià）邊隨著牽引電機與機（jī）器（qì）的相對震（zhèn）動偏移承受了激烈的運動。牽引電機（jī）與機械設（shè）備間的比較大震動一般是機（jī）器的縱（zòng）向及橫著(橫著搖（yáo）晃)運動，機器（qì）的縱（zòng）向受設備及牽引電機框架的彎（wān）曲剛度所管（guǎn）束（shù），其運動獲得限製。另一方麵，氣（qì）動隔振係統由於運（yùn）行時曲線圖中的搖晃等（děng）因素,機械設備方位運動很容易擴大（dà）因此可（kě）以確定（dìng），下邊②麵震動負荷小又下邊①麵震動負（fù）荷則比（bǐ）較（jiào）大。