橡膠空氣彈簧氣囊氣嘴能否過盈配合

橡膠（jiāo）空氣彈簧隔振設計及性能分析
壓印光刻（kè）機是一種精（jīng）密（mì）儀器,外（wài）界（jiè）環境激勵對壓印光（guāng）刻機的影響很（hěn）大。橡膠空氣彈簧是一種減振器,用橡膠空氣彈（dàn）簧隔離外界環境對壓印光刻機的（de）幹擾,能保護壓印光刻機免受低（dī）頻激勵力的激勵,文（wén）中闡述壓印光刻機低頻橡膠空氣彈簧單自由度隔振係統的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振係統的固有頻率,隔（gé）振係統的固有頻率及隔振效率的理（lǐ）論結果與實際隔振係統的試驗結果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設計是合理可行的。