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橡（xiàng）膠空氣彈簧隔振設計（jì）及性能分析
壓印光刻（kè）機（jī）是一（yī）種精密儀器,外界環境激勵對壓印（yìn）光刻機的影響很（hěn）大（dà）。橡膠空氣彈簧是一種減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外（wài）界環境對壓印光刻機的幹擾,能保護壓印光刻機免受低頻（pín）激勵力的（de）激勵,文中闡述壓印（yìn）光刻機低（dī）頻（pín）橡膠空氣彈簧單（dān）自由（yóu）度隔振係統（tǒng）的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振係（xì）統的固有頻率（lǜ）,隔振係統的固有頻率及隔（gé）振效率的理論結果與實際隔振係統的試驗結果（guǒ）相吻合,表明壓（yā）印光刻機的低（dī）頻隔振設計是合理可行的。